华虹宏力：差异化工艺满足多样化需求

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在中国集成电路设计业2018年会暨珠海集成电路产业创新发展高峰论坛上，上海华虹宏力半导体制造有限公司（以下简称“华虹宏力”）战略、市场与发展部部长胡湘俊作了题为《汇聚“芯”动力，打造“芯”生态》的演讲。胡湘俊在演讲中表示，华虹宏力现有的3座8英寸厂，覆盖了从1μm~90nm的制程，而在建的华虹无锡12英寸工厂，让华虹宏力开始进入65nm/55nm节点。

纵深化发展差异化工艺，持续研发创新，华虹宏力已为高速迭代的市场应用做了充分准备。

以“物联网+人工智能”为代表的智能时代已经来临，智能时代的设备需要感知、控制、射频与电源管理的复合功能。目前，绝大部分广域物联网应用通过全球电信运营商的2G/3G/4G蜂窝网络实现连接，只有约9%使用NB-IoT（窄带物联网）/LTE-M连接，未来更多连接会由NB-IoT/eMTC（增强机器类通信）网络承载。胡湘俊认为，与物联网相关的硬件产品增速有望超过50%，到2025年物联网连接数将达到18亿以上。与NB-IoT相关的模组均需要MCU（微控制单元）芯片实现控制功能，而MCU技术的核心正是eNVM（嵌入式非易失性存储器）技术。

从1976年到现在，MCU的发展已经超过40年。2010年开始的物联网需求让MCU进入3.0时代。随着2020年智能时代的到来，MCU周边将集成更多功能，迎来4.0时代。胡湘俊分析了当下MCU的发展趋势：8位MCU技术及市场基本平稳，32位MCU保持着10%~20%高速增长，Flash向高速、大容量、低功耗方向发展，以满足物联网需求；汽车电子和工业控制市场占MCU销售比重越来越大；亚太区MCU市场规模最大且增长率最高，给设计、制造、封测及其他相关配套厂商提供了机会。

作为全球领先的eNVM技术代工解决方案提供商，华虹宏力在存储器单元尺寸缩小、存储器IP面积优化及光罩层数减少等方面持续创新。华虹宏力提供从0.18μm到90nm嵌入式Flash（闪存）、EEPROM（带电可擦可编程只写存储器）、SONOS 、OTP（一次性可编程）/MTP（可多次编程）等技术，产品应用可覆盖高中端及入门级MCU芯片。胡湘俊表示，华虹宏力将把8英寸90nm成功量产经验转移至12英寸，同时进行65nm、55nm嵌入式闪存的开发。

胡湘俊表示，想要制胜未来的细分市场，模拟和电源管理是不可或缺的技术。从低压（5V~7V）到高压（600~700V）应用，华虹宏力已有相对完整的技术布局，目前的8英寸工艺主要针对大功率、高可靠性、智能化应用。未来华虹无锡的12英寸工艺将主要针对智能化、低功耗、小型化应用。

在低压模拟工艺方面，华虹宏力拥有成熟的0.35mm 5V/7V模拟工艺，能提供稳定的良率和丰富的产品门类，可广泛应用于音频功放、马达驱动、DC/DC（直流转直流电源）芯片等市场，累计出货超过50万片；先进的0.11mm双栅1.5V/7V模拟工艺，性能优异，适用于先进的数字音频功放、马达驱动、数字电源等芯片市场。

华虹宏力今年成功量产的0.18μm 40V BCD（双极—互补金属氧化物半导体—双重扩散金属氧化物半导体）性能达到业界先进水平。该平台具有导通电阻低、高压种类全、光刻层数少等优势，对于工业控制应用和DC-DC转换器等产品是理想的工艺选择。此外，华虹宏力还将继续开发60V~100V BCD，满足汽车电子设计要求；90nm BCD正在开发中，并持续进行性能优化。此外，华虹宏力结合嵌入式闪存，形成了颇具特色的eFlash+BCD工艺，满足客户的复合式功能需求。

随着5G时代来临，业内对5G射频芯片提出了更高要求。由于RF SOI（射频绝缘体上硅）能有效整合射频开关、低噪声放大器、天线调谐器甚至功率放大器，能够为5G射频前端芯片提供极具竞争力的集成整合解决方案。华虹宏力紧随趋势，持续优化RF SOI工艺平台，提供精准的PSP SOI模型，为射频前端模组及天线开关的设计优化提供便利，其中0.2μm RF SOI工艺累计出货2万片；0.13μm RF SOI 1.2V/2.5V工艺平台将更好地支持“低噪放+天线开关”的集成；未来公司还会布局55nm RF SOI，拟打造国内最优RF SOI工艺平台。

作为电能变换与传输的核心器件，IGBT（绝缘栅双极晶体管）在工业控制、汽车电子、新能源、智能电网方面有着巨大的市场潜力。作为全球领先的IGBT晶圆代工厂，华虹宏力提供最先进沟槽式场截止工艺、全套背面工艺，量产产品系列众多，电压涵盖600V~1700V，如650V的空调IPM（智能功率模块）、新能源汽车逆变器，1200V的工控、太阳能应用以及1700V的风能应用。

胡湘俊表示，华虹宏力持续深耕嵌入式非易失性存储器、功率器件、模拟及电源管理和逻辑及射频等差异化工艺平台，已在智能卡、物联网、5G、汽车电子等领域树立口碑。华虹宏力还将坚持特色工艺战略，不断研发创新，将现有的技术优势向12英寸延伸，广泛服务海内外客户，满足市场需求。

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