受制于人的光刻胶

2020-03-23 14:00:21 来源: 半导体行业观察

来源:内容来 自「半导体设备与材料」,作者:余嫄嫄杨绍辉赵琦, 谢谢。


2018年,全球光刻胶市场规模17亿美元,占半导体材料行业的5%。全国光刻胶行业具有15-20亿人民币市场规模,是指国内IC领域光刻胶。京东方所在平板行业光刻胶就有200亿规模,平板用量是吨级,IC用的是加仑,PCB光刻胶就更多。



按曝光波长,光刻胶可分类为G-line、I-line、KrF、ArFd& ArF i、EUV等光刻胶。根据以往SEMI数据,G-line&I-line、KrF、ArF&ArF i三分天下,但随着EUV光刻工艺的发展,EUV也将成为光刻胶最主要的市场部分之一。


全球光刻胶行业竞争格局


光刻胶国际品牌,主要包括日本JSR、东京应化、DOW、富士电子材料、信越化学等,前五大光刻胶供应商市场份额合计占到80%以上,市场集中度高。

在高端光刻胶市场上,全球的EUV和ArF i光刻胶主要是JSR、陶氏和信越化学等供应商,占有份额最大的是JSR、信越化学,TOK也有研发。

每家光刻胶国际品牌的竞争优势有所不同:

(1)JSR:全球最大的,技术是最领先的,客户服务的对象主要倾向于三大家:Intel、三星和台积电。JSR以技术引领整个光刻胶技术发展。产品跨度非常大,从现有的I-line、KrF、ArF、ArF i、EUV光刻胶,都有产品。下游行业也不仅限于IC,如封装行业、其他的行业。

(2)TOK:专注于做光刻胶及配套试剂,目前在行业里G、I线,KrF和ArF都有些市场份额,但是在高端技术上落后于JSR、陶氏和信越化学。

(3)陶氏:光刻胶事业部已经并到杜邦,光刻胶只是杜邦的一种产品。客户是Intel、IBM体系,在美国和新加坡、中国台湾的占有率高,但在大陆市场占有率不是很高。在低端的6寸市场的份额较大。

(4)富士电子材料在主流的IC的份额不是很大,其实是在OLED,包括平板显示部分的市占份额很大。

(5)信越化学也是跟JSR、陶氏一样,都是大化工企业,不光供应光刻胶,也供应Wafer,供应其他这些材料,主要产品包括KrF、ArF,ArF immersion光刻胶,EUV也在开发。

国内光刻胶竞争格局


国内的存储厂商、代工厂商的光刻胶供应商格局,与国际格局不同:

(1)在国内存储方面, TOK份额是很高的,陶氏也有相对应的一些份额;
(2) 在国内代工厂方面 ,信越化学和TOK份额最大,JSR和陶氏份额很少。
PI:Polyimide的垄断性比光刻胶还要强 ,Polyimide的原材料绝大部分掌握在日本手里,形成全球性的垄断,国内有厂家做的类似的产品,但是真正要量产,距离还很遥远。

光刻胶的国产化:国产品牌处于起步阶段


国内光刻胶布局主要有北京科华微电子、晶瑞股份(瑞红)、南大光电、上海新阳、 江苏汉拓 厦门恒坤 等,其中:

(1)北京科华:6寸的G线、I线市场份额较高;8寸、12寸里面I-line、KrF都有突破,目前份额较小;
(2)晶瑞股份:子公司瑞红光刻胶产品已有几家6寸客户使用,2018年进入中芯国际天津工厂8寸线测试并获批量使用;
(3)南大光电:承担“ArF光刻胶产品的开发和产业化”02专项项目,预计2019年底在宁波建成一条光刻胶生产线,推进ArF 光刻胶产业化;
(4)上海新阳:在已立项研发用于逻辑与模拟芯片ArF光刻胶基础上,增加用于存储器芯片的半导体厚膜光刻胶(KrF)的研发立项;
(5)江苏汉拓:布局E-BEAM材料;
(6)厦门恒坤:主攻DRAM市场,2018 年成功导入IC 大厂并批量供货。

光刻胶原材料也主要依赖于进口


光刻胶由树脂、溶剂、感光剂、添加剂四种成分组成,其中:
(1) 树脂基本上都从美、日、韩进口;
(2) 感光剂从日本进口为主,因此国内光刻胶产业链布局还很少。
(3) 强力新材与北京科华有一些原材料方面的合作,但还没有做到量产阶段。
目前国内仅济南圣泉能供应I-line树脂,但是仅限于低端产品。

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