美光更新DRAM芯片路线图
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1Xnm –(c19-17nm)较早的DRAM技术处理节点大小 -
1Ynm –(c16-14nm)当今主流的DRAM位生产技术 -
1Znm –(c13-11mn)2020年第三季度,15%的美国DRAM位生产是在这个工艺完成 -
1αnm工艺节点– 1 alpha – 2021年上半年的量产 -
1βnm工艺节点– 1 beta –处于早期开发中 -
1纳米工艺节点– 1gamma–早期工艺集成 -
1δnm工艺节点– 1delta–探索中,可能需要EUV技术
关于EUV的看法
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