ASML科普光刻机的关键技术
来源:内容转载自公众号「 ASML阿斯麦光刻 」,谢谢。
为什么光刻机需要那么大的投影物镜?
如何做到呢
为什么光刻机需要那么多的镜片?
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ASML投影物镜的加工工艺相当精密
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除了工艺加持,物镜内还有多片可动镜片
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另外,还少不了精密传感器实时量测
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