厦门市SiC外延重要材料降税

2021-12-18 14:00:53 来源: 半导体行业观察

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据厦门日报报道，日前，国务院关税税则委员会发布关于2022年关税调整方案的通知，自2022年1月1日起，我国将对954项商品实施低于最惠国税率的进口暂定税率。厦门日报记者昨日从市财政局获悉，此次厦门市提出的三项进口关税税率降低建议被采纳，惠及生物医药、集成电路与半导体等新兴产业，预计全年可为企业减少关税成本数千万元。

据介绍，针对生物医药、集成电路企业提出希望进一步降低部分商品进口关税税率的建议，市财政局深入三安光电、瀚天天成、大博医疗等十余家企业调研，并会同厦门海关多次召开专题座谈会，全面了解企业诉求。经走访摸底，慎重研究，向财政部提交了8项商品的降税建议，此次共有3项被采纳，其中一项关于集成电路与半导体的是，碳化硅外延生产设备用石墨配件(金属含量≤5ppm)进口关税税率由10%降到5%。

据了解，碳化硅是引领未来电力电子行业的基础原材料，石墨料件是碳化硅外延生产的重要原辅材料。SiC外延片是SiC产业链条核心的中间环节。

碳化硅外延片，是指在碳化硅衬底上生长了一层有一定要求的、与衬底晶相同的单晶薄膜（外延层）的碳化硅片。实际应用中，宽禁带半导体器件几乎都做在外延层上，碳化硅晶片本身只作为衬底，包括GaN外延层的衬底。

晶片需要经过多道工序才能在电子设备中使用。一个重要的过程是硅外延，晶片在这一过程中被承载在石墨基座上。无论是硅的CZ法、蓝宝石的HEM法还是碳化硅块状生长的PVT法，用于生长半导体晶体的所有工艺都在高温、侵蚀性环境下运行，这就是工业晶体生长炉的热区通常配备耐热和耐腐蚀石墨部件的原因。

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