结合深度学习、速度和灵敏度，Voyager® 1035为芯片生产保驾护航

2021-11-02 10:22:06 来源: 互联网

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芯片制造包含了上千个工艺步骤。每个步骤都需要极高的精度与控制，以高效快速地从裸硅晶圆开始并制成最终的功能芯片。我们全新的Voyager® 1035激光扫描图案晶圆检测仪可以在量产和批量生产期间监控关键工艺步骤并指引芯片制造。通过对关键缺陷进行在线侦测和标识，Voyager 1035检测仪有助于确保各个工艺步骤都通向成功的芯片生产之路。

作为先进逻辑和内存芯片制造中的在线缺陷监控设备，Voyager 1035在灵敏度、速度和购置成本之间实现了最佳平衡。对于关键的工艺监控应用，Voyager 1035中的独特架构、深度学习算法和多项先进技术，使其在保持高产量的同时实现了业界最佳的激光扫描灵敏度。这可确保晶圆厂工程师及时收到具有实际操作性的缺陷数据，以采取必要的纠正措施并保持芯片生产的正常运行。

Voyager 1035的标志性特点是DefectWise®深度学习技术。DefectWise可以快速实现关键缺陷与图案噪声及杂讯的在线区分，从而提高灵敏度和关键缺陷的捕获率。通过准确的缺陷分类，DefectWise缩短了晶圆厂工程师从捕获到纠正工艺偏差所需的时间。