电子气体为啥那么难？
2021-01-19
14:34:00
来源: 互联网
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在集成电路、平面显示器件和太阳能等电子工业生产环节中，从芯片生产到最后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体，因此电子气体堪称电子制造的“血液”。电子气体成本仅占 IC 材料总成本的 5%-6%，但是即使只是某一种特定杂质超标，都可能导致产品严重缺陷，甚至因为不合格气体的扩散，导致整个生产线被污染或报废。因此，电子气体的品质很大程度上决定了半导体器件性能的好坏，电子气体纯度每提高一个数量级，都会极大地推动半导体器件质的飞跃。
气体混配和杂质监控
气体的运输和储存
影响电子气体纯度及品质的主要因素包括：气体的生产和充装、气体混配和杂质监控，以及气体的运输和储存三方面。
气体的生产和充装
电子气体生产的瓶颈很多，从原材料纯度开始，到合成工艺、对温度和压力的控制，再到提纯方法和分析方法，以及产品充装过程中对杂质的控制，每个环节都会影响整个产品的质量。
目前，受制于国内生产技术的限制，大量5N/6N的高纯气体、稀有气体及混合气体需要依赖于进口，一定程度上增加了运输成本、供货周期及产品污染的风险。空气产品公司的无锡电子级高纯气体工厂，大部分原料均来自于公司自有的空分设备，品质更可控。
同时，无锡电子级高纯气体工厂配备了先进的充装设备，确保大批量、精准的气体充装。
- 艾必利®6N纯气充装
空气产品公司无锡电子级高纯气体工厂采用压力法和重量法并用的充装模式，配备先进的SPIDER充装台，可实现大批量充装，且此种模式混配比稳定，没有首末只充装偏差，混配精度可控制在0.01%的范围：如1.2%He/N2，混配精度可以控制在1.19-1.21%之内。
- 艾必利稀有气体充装
空气产品公司可提供从0.4升、1升到40升、47升及49升等规格，重量精确到0.001KG。精准的管路设计可减少充装损失量，使气体重量更精准、更稳定。
- 艾必利准分子激光混合气
无锡电子级高纯气体工厂采用自动充装柜，每柜均配有5克或50克感量的梅特勒地秤。每柜一支钢瓶充装设计，确保精准充装。同时混配范围从200PPM 到%，范围更宽。每支混配，可快速反应客户不同混配比需求，并做到最小偏差控制。
对于混合气而言，配比的精度是核心参数，随着产品组分的增加、配制精度的上升，客户常要求气体供应商能够对多种PPM乃至PPB级浓度的气体组分进行精细操作，其配制过程的难度与复杂程度也显著增大。此外，对气体分析检测和杂质监控也提出了更高的技术要求。
凭借空气产品公司全球混配比数据库，空气产品公司的气体混配专家利用30多年的丰富经验，为客户实现精准配比。通过量化充装管路硬链接的系统偏差，做到精准、稳定的定量充装，从而缩小产品混配比偏差，不断提升数据统计SPC管控CPK 值。
空气产品公司采用PPT级别的高端杂质分析系统，对6N气体进行100PPB级别的分析，并提供精准的分析数据。空气产品公司的艾必利电子级高纯气体的水、氧等关键杂质含量甚至可低到10PPB。
电子气体在储存和运输过程中要求使用高质量的气体包装储运容器、以及相应的气体输送管线、阀门和接口，确保避免二次污染。
空气产品公司的6N/5N5/5N的产品包装配置DISS/CGA阀门及钢瓶内壁抛光处理技术，同时严格监管气体的品质有效期。对于水含量达到100PPB甚至10PPB的6N超高纯气体而言，包装对品质的影响至关重要。
同时，除了在无锡的电子级高纯气体工厂外，空气产品公司在中国台湾和韩国也设有特气充装工厂，资源共享，以提升运输效率和供货稳定性。
多元化的电子级高纯气体产品
满足不同纯度需求
艾必利电子级高纯气体，为电子制造提供纯净血液
由空气产品公司无锡电子级高纯气体工厂生产和供应的艾必利电子级高纯气体涵盖了纯气、稀有气体和准分子激光混合气等。我们对自有原料的纯度严格把关，配合先进的充装和混配系统，精确控制和检测杂质含量，为电子生产的各个工艺环节提供纯净的“血液”，推动电子器件质量提升。
如需进一步了解空气产品公司艾必利电子级高纯气体，可致电400-888-7662或关注空气产品公司官方微信获取更多信息。
责任编辑：sophie
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